پلازما ایچر پاور ڈیمیسٹائڈ

پلازما ایچر پاور بیسکس
پلازما ایچر کی طاقت کار کے ایکسلریٹر کی طرح ہے ، جو براہ راست اینچنگ کی رفتار اور گہرائی کا تعین کرتی ہے۔ طاقت جتنی زیادہ ہوگی ، پلازما کی کثافت اور تیز رفتار کی شرح اتنی ہی زیادہ ہوگی۔ تاہم ، اعلی طاقت ہمیشہ بہتر نہیں ہوتی ہے۔ اسے مواد اور عمل کی ضروریات کی بنیاد پر ایڈجسٹ کرنے کی ضرورت ہے۔

کم طاقت (100-300W): عمدہ اینچنگ کے ل suitable موزوں اور مادی نقصان کو کم سے کم کرتا ہے۔

میڈیم پاور (300-600W): توازن ETCH کی شرح اور انتخابی۔

اعلی طاقت (600W اور اس سے اوپر): بڑی مقدار میں مواد کو تیزی سے ہٹانے کے لئے استعمال کیا جاتا ہے۔

اینچنگ کے نتائج پر طاقت کے اثرات

طاقت میں چھوٹی چھوٹی تبدیلیاں اینچنگ کے نتائج میں نمایاں اختلافات کا باعث بن سکتی ہیں۔

اینچنگ ریٹ: بجلی میں ہر 100W اضافے سے شرح میں تقریبا 15 15-20 ٪ اضافہ ہوتا ہے۔

انتخابی: ضرورت سے زیادہ طاقت ماسک کے تحفظ کو کم کرسکتی ہے۔

یکسانیت: بجلی کے اتار چڑھاو سے متضاد اینچنگ گہرائی کا باعث بن سکتا ہے۔

ضمنی پروڈکٹس: طاقت پلازما کیمسٹری کو متاثر کرتی ہے ، جس سے مصنوع کی اقسام کو تبدیل کیا جاتا ہے۔

بجلی کی اصلاح کے کلیدی عوامل

زیادہ سے زیادہ اینچنگ کے نتائج کو حاصل کرنے کے لئے ، درج ذیل عوامل پر غور کرنا چاہئے:

گیس کی قسم: مختلف گیسوں کو ایک مخصوص بجلی کی حد کی ضرورت ہوتی ہے۔

چیمبر پریشر: دباؤ میں تبدیلیوں میں اسی طرح کی بجلی کی ایڈجسٹمنٹ کی ضرورت ہوتی ہے۔

سبسٹریٹ درجہ حرارت: درجہ حرارت میں اضافے کے ساتھ ہی بجلی کو کم کیا جاسکتا ہے۔

الیکٹروڈ وقفہ کاری: وقفہ کاری جتنی چھوٹی ہوگی ، بجلی کی ضرورت کم ہے۔