پلازما ایچر اصول

حوصلہ افزائی کے ساتھ مل کر پلازما اینچ (آئی سی پی ای) کیمیائی اور جسمانی عمل کے امتزاج کا نتیجہ ہے۔ اس کا بنیادی اصول یہ ہے کہ ، ویکیوم اور کم دباؤ کے تحت ، آئی سی پی آر ایف بجلی کی فراہمی کے ذریعہ تیار کردہ ریڈیو فریکوئنسی ٹورائڈل جوڑے کے کنڈلی میں پیداوار ہے۔ ایک خاص تناسب میں مخلوط اینچنگ گیس ایک چمکدار خارج ہونے والے مادہ کے ساتھ ملتی ہے ، جس سے ایک اعلی - کثافت پلازما پیدا ہوتا ہے۔ نچلے الیکٹروڈ پر آر ایف کے اثر و رسوخ کے تحت ، یہ پلازما سبسٹریٹ سطح پر بمباری کرتا ہے ، جس سے سبسٹریٹ کے نمونہ دار علاقے میں سیمیکمڈکٹر مواد کے کیمیائی بانڈوں کو توڑ دیا جاتا ہے۔ یہ اتار چڑھاؤ والے مادے اتارنے والی گیس کے ساتھ رد عمل کا اظہار کرتے ہیں تاکہ اتار چڑھاؤ کے مرکبات بن سکیں ، جو پھر گیسوں کے طور پر سبسٹریٹ سے الگ ہوجاتے ہیں اور ویکیوم لائن سے باہر پمپ ہوجاتے ہیں۔